Invention Grant
- Patent Title: 用于集成电路的光学计量的波长选择方法
- Patent Title (English): Selection of wavelengths for integrated circuit optical metrology
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Application No.: CN03812966.3Application Date: 2003-05-30
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Publication No.: CN1659574BPublication Date: 2011-03-16
- Inventor: 斯瑞尼瓦斯·多蒂 , 劳伦斯·莱恩 , 威·沃恩格 , 迈克尔·劳格瑞 , 鲍君威 , 凯利·巴里 , 尼克希尔·扎卡特达 , 伊曼纽·缀格
- Applicant: 音质技术公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 音质技术公司
- Current Assignee: TEL音质技术公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 李勇
- Priority: 10/162,516 2002.06.03 US
- International Application: PCT/US2003/017441 2003.05.30
- International Announcement: WO2003/102853 EN 2003.12.11
- Date entered country: 2004-12-03
- Main IPC: G06F17/50
- IPC: G06F17/50 ; G01R23/16
Abstract:
用于集成电路的光学计量中的特定波长可利用一个或多个选择准则和终止准则来选择。使用选择准则选择波长，波长的选择被迭代直到满足终止准则。
Public/Granted literature
- CN1659574A 用于集成电路的光学计量的波长选择 Public/Granted day:2005-08-24
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