防止高电压电源向微波发生器提供短路电流的方法和辐射发生系统
摘要:
一种用于处理基板上涂层的辐射发生系统。高电压电路向微波发生器提供供电,其接下来提供微波辐射以驱动灯。限流设备连接在该高电压电路和该微波发生器之间,并且故障检测器连接到该高电压电路,用于响应于提供给该微波发生器的过量电流提供出错信号。控制器可操作用于响应于该出错信号,中断对高电压电路的AC供电。
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