本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈(CeO2)、氧化镧(La2O3)及氧化钕(Nd2O3)，并含有氟元素(F)，其总稀土类氧化物换算重量(TREO)为90wt％以上，同时，TREO中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为50wt％～65wt％，并且TREO中氧化钕所占重量比(Nd2O3/TREO)为10wt％～16wt％。使用这样的铈系研磨材料能迅速得到研磨损伤发生较少的研磨面。