发明公开
CN1706646A 制造喷嘴板的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 制造喷嘴板的方法
- 专利标题（英）： A method of manufacturing a nozzle plate
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申请号： CN200510072629.8申请日： 2005-05-16
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公开(公告)号： CN1706646A公开(公告)日： 2005-12-14
- 发明人: 松尾刚秀 , 荒川克治
- 申请人： 精工爱普生株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人： 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 宋合成
- 优先权： 2004－170024 2004.06.08 JP
- 主分类号： B41J2/135
- IPC分类号： B41J2/135 ; B41J2/01
摘要：
一种制造喷嘴板(2)的方法。该喷嘴板(2)具有液滴适合经过其每一个而被喷射的多个喷嘴开口(22)。所述方法包括以下步骤：准备由硅作为主要材料制成的处理基板(硅基板10)，该处理基板具有两个主要表面；将用于支撑处理基板的支撑基板(50)设置在处理基板的一个主要表面上；和在处理基板由支撑基板50支撑的同时，通过使处理基板的另一表面接受蚀刻处理，在处理基板的另一表面上形成多个喷嘴开口(22)。
公开/授权文献
- CN100389958C 制造喷嘴板的方法 公开/授权日：2008-05-28