用于成像器到成像器中继的透镜系统
摘要:
一种用在两级投影系统中的透镜系统,逐个像素地将从第一成像器输出的光中继到第二成像器上。所述透镜系统包括双高斯透镜组,对于在大约15.4平方微米内所投影的特定像素的光能量的至少大约90%,具有小于大约0.015%的失真。
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