光强度调制元件、强度调制光发生器、激光曝光装置
摘要:
本发明的目的在于提供一种小型而能够进行光强度调制的,且变换为第2高次谐波的效率较高的光强度调制元件。非线性光学晶体所制成的基板的主面形成有向某一方向的光导波路,该光导波路中,形成有在上述光导波路方向上极性周期交互反转地形成有在上述基板的厚度方向上的极化构造。这样,该光导波路中,形成有分别将所入射的红外光的一部分变换成第2高次谐波的第1.第2波长变换部,另外在上述第1.第2波长变换部之间,形成有具有夹持上述光导波路而相对配置的一对电极的第1相位调整部。
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