- 专利标题： 交联性弹性体组合物及该交联性弹性体组合物所形成的成型品
- 专利标题（英）： Cross-linked elastomer composition and formed product composed of such cross-linked elastomer composition
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申请号： CN200480002088.5申请日： 2004-01-07
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公开(公告)号： CN1735662A公开(公告)日： 2006-02-15
- 发明人: 东野克彦 , 野口刚
- 申请人： 大金工业株式会社
- 申请人地址： 日本大阪府
- 专利权人： 大金工业株式会社
- 当前专利权人： 大金工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本大阪府
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 丁香兰
- 优先权： 005072/2003 2003.01.10 JP
- 国际申请： PCT/JP2004/000049 2004.01.07
- 国际公布： WO2004/063281 JA 2004.07.29
- 进入国家日期： 2005-07-11
- 主分类号： C08L101/00
- IPC分类号： C08L101/00 ; C08K3/16 ; C08K3/34 ; C08K9/00 ; C09K3/10
摘要：
本发明提供了交联性弹性体组合物及该由交联性弹性体组合物形成的成型品，所述组合物对半导体制造过程中进行的高浓度F自由基照射、O2等离子体照射、F等离子体照射的任意一种处理的重量变化小、具有显著的等离体耐受性。
公开/授权文献
- CN100366681C 交联性弹性体组合物及该交联性弹性体组合物所形成的成型品 公开/授权日：2008-02-06
