基板处理装置及基板处理方法
摘要:
本发明提供一种基板处理装置,在可以正确控制喷出口与基板之间的距离的同时,喷嘴的制作也容易。在基板处理装置(1)中,测定作为与成为处理对象的基板垂直的方向上的位置的垂直位置的线性量规(81、82),测定向处理对象的基板喷出处理液的细缝喷嘴(41)的喷出口(41c)以及测定部位(P,P’)的垂直位置,利用该垂直位置测定结果,通过使细缝喷嘴(41)沿与基板垂直的方向移动的升降机构(43、44)进行细缝喷嘴(41)的升降控制。
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