用于宽幅薄片的薄片处理装置
摘要:
一种周于宽幅薄片的包括薄片支承板的薄片处理装置,所述板具有顶面,所述顶面包括连接在至少一个抽吸室(26)上的抽吸孔,所述至少一个抽吸室(26)分成多个隔室(66A-C,68A-C),其通过开口(69)连接在适于在隔室内产生负压的抽吸装置上,其中所述隔室(66A-C,68A-C)中的相邻隔室之间的至少一个内壁(62,64)限定了节流孔(70),所述隔室(66C)的至少一个直接连接在所述抽吸装置上,所述隔室(66A,66B,68A-C)中的至少另一个通过所述孔(70)而间接地连接在抽吸装置上。
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