发明授权
- 专利标题： 图像传感器及其制造方法
- 专利标题（英）： Image sensor and method of manufacturing the same
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申请号： CN200510065653.9申请日： 2005-02-05
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公开(公告)号： CN1758441B公开(公告)日： 2014-08-06
- 发明人: 金希珍
- 申请人： 智慧投资II有限责任公司
- 申请人地址： 美国华盛顿州
- 专利权人： 智慧投资II有限责任公司
- 当前专利权人： 智慧投资II有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国华盛顿州
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 彭久云
- 优先权： 7485/04 2004.02.05 KR
- 主分类号： H01L27/146
- IPC分类号： H01L27/146
摘要：
公开了一种图像传感器及其制造方法。在其上形成有器件的衬底上形成金属连线，该金属连线由下层金属连线、上层金属连线和连接下层与上层金属连线的插塞组成，其中下层与上层金属连线由透明导电膜图案制成，所述器件包括光电二极管和栅电极。然后在金属连线上依次形成钝化膜、滤色器和微透镜。金属连线的全部或一部分形成在透明导电膜图案中。这样，在光电二极管上形成了金属连线。
公开/授权文献
- CN1758441A 图像传感器及其制造方法 公开/授权日：2006-04-12
IPC分类:
