基板定位装置
摘要:
一种可减轻在双头激光加工机中因2个加工头的光轴位置偏离或倾斜引起的加工质量问题的基板定位装置,其具备:放置基板的工作台(33)及对该工作台进行保持的工作台的保持台(34);与基板的相垂直的2边碰接的、对基板进行定位的X轴方向止动件(37)及Y轴方向止动件(36);将X轴方向止动件(37)的相对工作台的保持台(34)的在X轴方向的位置在所定的基准位置与偏置位置间进行切换的X轴方向止动件位置切换装置(47);将Y轴方向止动件(36)的相对工作台的保持台(34)的在Y轴方向的位置在所定的基准位置与偏置位置间进行切换的Y轴方向止动件位置切换装置(41);使工作台(33)向与X轴方向及Y轴方向斜交的斜行方向水平移动、使基板与X轴方向止动件(37)及Y轴方向止动件(36)碰接的工作台驱动装置(50)。
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