本发明公开了一种用于化学机械抛光的二氧化铈细颗粒浓缩物及其制备方法。该方法包括将含i)水、ii)水溶性铈盐化合物水溶液和iii)氨或铵盐的反应混合物在250－ 700℃的反应温度、180－550巴的反应压力下，在连续反应器中反应0.01秒到10分钟，得到含二氧化铈细颗粒的溶液，其中，铈盐化合物在反应混合物中的含量为0.01－20重量％；并且在装有孔径为0.01－10微米的过滤器的浓缩器中将所述含二氧化铈细颗粒的溶液浓缩。该浓缩物的优点在于，通过稀释和添加添加剂工艺，易于得到化学机械抛光浆料和分散液。