超低残留反射的低应力透镜涂层
摘要:
本发明给出一种用防反射(AR)涂层对光学透镜和其他光学制品涂覆的方法。透镜有低的反射率,提供基本上白色的光反射,并有低应力AR涂层,且理想地适合用于模制工艺制作的光学透镜,该种模制工艺给出低应力的透镜基片。一方面,本方法使用专门的涂层成分,其中之一是高折射率成分,另一种是低折射率成分。另一方面,还公开一种光学监控器与常规汽相淀积设备结合使用的方法,按照该方法,使用光学参考透镜,并测量反射光中特定的光学频率,然后用该测量来确定何时获得需要的光学涂层。再一方面,本方法最好还用反射光中蓝光对绿光对红光的专门比例,计算每一层的光学厚度。必要时,还通过调整每一层的光学厚度,控制AR膜的应力,使低/高折射率层之间的拉应力和压应力的差最小。
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