- 专利标题: 具有非平面晶体管的固态图像传感器设备及其制造方法
- 专利标题(英): Solid image sensor device with nonplanar transistor and manufacture method thereof
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申请号: CN200510118129.3申请日: 2005-10-20
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公开(公告)号: CN1812112B公开(公告)日: 2011-02-23
- 发明人: 柳政澔
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邸万奎; 黄小临
- 优先权: 83968/04 2004.10.20 KR; 11/211,840 2005.08.25 US; 11/211,300 2005.08.25 US
- 主分类号: H04N5/335
- IPC分类号: H04N5/335 ; H01L27/146 ; H01L29/78 ; H01L21/822 ; H01L21/336
摘要:
提供了CMOS图像传感器设备以及制造该设备的方法,其中用具有垂直栅电极和沟道的非平面晶体管设计有源像素传感器,这可最小化图像滞后和暗电流的影响。
公开/授权文献
- CN1812112A 具有非平面晶体管的固态图像传感器设备及其制造方法 公开/授权日:2006-08-02