利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN1828423A 一种曝光掩模板的固定方法 无效 - 撤回

一种曝光掩模板的固定方法
摘要：
本发明涉及一种曝光掩模板的固定方法。其特点是，该方法步骤为：第一：玻璃板底部放置曝光掩模板，曝光掩模板通过四周的胶带与玻璃板紧密贴合；第二：在玻璃板的边缘处打一个小孔；第三：在小孔处装一根管子，并将管子和玻璃板密封连接；第四：再将管子的另一端与抽真空装置连接；第五：启动抽真空装置，玻璃板和曝光掩模板之间形成一个真空区域。采用管子一端与玻璃板密封连接，另一端与抽真空装置相连，在生产过程中，始终保持抽真空状态，即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域，即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形，曝光掩模板也不会下垂，有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。
摘要（英）：

The related method comprises: 1. putting the exposure mask on glass board bottom to stick tightly with the board by adhesive tape; 2. setting a small opening on board edge; 3. arranging a pipe in the hole, sealed connecting the pipe and the board; 4. connecting another end of the pipe to an evacuating device; 5. starting the evacuating device to form a vacuum area between the board and mask. This invention can avoid effect to product quality led by distortion of exposured picture.

0/0