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发明授权
CN1829571B 用于制造多层高温超导(HTS)涂布带的金属有机化学气相沉积(MOCVD)法以及设备 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 用于制造多层高温超导(HTS)涂布带的金属有机化学气相沉积(MOCVD)法以及设备
  • 专利标题（英）： Metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD) process and apparatus to produce multi-layer high-temperature superconducting(HTS) coated tape
  • 申请号： CN200480017515.7
    申请日： 2004-05-25
  • 公开(公告)号： CN1829571B
    公开(公告)日： 2010-09-08
  • 发明人: V·塞尔瓦曼尼克姆 , 李喜均
  • 申请人： 美国超能公司
  • 申请人地址： 美国纽约州
  • 专利权人： 美国超能公司
  • 当前专利权人： 美国超能公司
  • 当前专利权人地址： 美国纽约州
  • 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
  • 代理商 陈文青
  • 优先权： 10/602,468 2003.06.23 US
  • 国际申请： PCT/US2004/016639 2004.05.25
  • 国际公布： WO2005/081658 EN 2005.09.09
  • 进入国家日期： 2005-12-22
  • 主分类号： B05B13/02
  • IPC分类号： B05B13/02 ;  B32B9/00
用于制造多层高温超导(HTS)涂布带的金属有机化学气相沉积(MOCVD)法以及设备
摘要：
一种有机化学气相沉积设备以及制造电流容量高的多层高温超导涂布带的方法，所述设备包括多个液体前体源，各自具有相连的泵和汽化器，所述汽化器的出口连通到金属有机化学气相沉积反应器中的多隔室喷头设备。所述多隔室喷头设备靠近有关的基质加热器，它们一起形成位于沉积区中的多沉积段区。
摘要（英）：

An MOCVD apparatus and process for producing multi-layer HTS-coated tapes with increased current capacity which includes multiple liquid precursor sources, each having an associated pump and vaporizer, the outlets of which feed a multiple compartment showerhead apparatus within an MOCVD reactor. The multiple compartment showerhead apparatus is located in close proximity to an associated substrateheater which together define multiple deposition sectors in a deposition zone.

公开/授权文献
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