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压电器件
Abstract:
一种压电器件包括:元件基板,该基板具有压电元件和与压电元件连接的导电图样;布置在压电元件周缘内的支撑层;覆盖层,它伸展成在元件基板的外部周缘内提供沟槽,在将覆盖层布置在支撑层上之后,通过除去元件基板外部周缘内的部分覆盖层和/或支撑层,所述沟槽在元件基板的整个外部周缘范围;绝缘增强材料,它整个盖住从覆盖层直到元件基板主表面的外部周缘范围内的元件基板的各部分;以及电连接件,它与导电图样电连接,从而通过所述覆盖层和增强材料。
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