发明授权
CN1863436B 配线基板及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 配线基板及其制造方法
- 专利标题(英): Method of manufacturing a wiring board and the wiring board
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申请号: CN200610064816.6申请日: 2006-03-14
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公开(公告)号: CN1863436B公开(公告)日: 2010-11-10
- 发明人: 佐野浩二 , 政井琢
- 申请人: 欧姆龙株式会社
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 欧姆龙株式会社
- 当前专利权人: 欧姆龙株式会社
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 黄纶伟
- 优先权: 2005-071692 2005.03.14 JP
- 主分类号: H05K3/06
- IPC分类号: H05K3/06 ; H05K3/00 ; H05K1/16 ; H05K3/22
摘要:
配线基板的制造方法、光掩模、配线基板、电路元件、通信装置和计量装置。实现一种能够可靠地将至少包括配线的一部分的表面区域的上方空间密闭的配线基板的制造方法。该方法具有:在玻璃基板(11a)上形成配线用的金属薄膜的第1步骤;使用形成有配线用图形的光掩模(20),在金属薄膜上生成抗蚀剂图形的第2步骤;把抗蚀剂图形作为掩模,通过湿法刻蚀选择性地去除金属薄膜,形成配线的第3步骤。当把通过烧结玻璃(13)接合的配线的部位作为接合部位时,光掩模(20)的配线用图形的侧边(La/Lb/Lc/Ld)在与接合部位对应的区域弯曲。
公开/授权文献
- CN1863436A 配线基板、其制造方法、光掩膜、电路元件、通信装置和计量装置 公开/授权日:2006-11-15