发明公开
- 专利标题： 用于二维的基于微机电系统的扫描器的伺服系统及其方法
- 专利标题（英）： Servo system for a two-dimensional micro-electromechanical system (MEMS)-based scanner and method therefor
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申请号： CN200480009658.3申请日： 2004-04-09
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公开(公告)号： CN1871557A公开(公告)日： 2006-11-29
- 发明人: S-J·M·斯里 , H·堂 , A·夏尔马 , E·S·埃莱夫特里乌 , M·A·兰茨 , C·波兹蒂斯
- 申请人： 国际商业机器公司
- 申请人地址： 美国纽约
- 专利权人： 国际商业机器公司
- 当前专利权人： 格芯美国第二有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国纽约
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 于静; 李峥
- 优先权： 10/411,136 2003.04.11 US
- 国际申请： PCT/US2004/010975 2004.04.09
- 国际公布： WO2004/093061 EN 2004.10.28
- 进入国家日期： 2005-10-10
- 主分类号： G05B1/06
- IPC分类号： G05B1/06
摘要：
一种用于基于微机电系统(MEMS)的运动控制系统的伺服控制系统(和方法)，包括运动发生器，该发生器具有固有的刚度成分。
公开/授权文献
- CN100561382C 用于二维的基于微机电系统的扫描器的伺服系统及其方法 公开/授权日：2009-11-18
