发明授权
CN1877867B 固体摄像器件及摄像机
失效 - 权利终止
- 专利标题: 固体摄像器件及摄像机
- 专利标题(英): Solid-state image sensor and image camera
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申请号: CN200610091709.2申请日: 2006-06-08
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公开(公告)号: CN1877867B公开(公告)日: 2010-07-21
- 发明人: 山口琢己 , 村田隆彦 , 春日繁孝
- 申请人: 松下电器产业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈英俊
- 优先权: 168725/2005 2005.06.08 JP; 168701/2005 2005.06.08 JP; 168724/2005 2005.06.08 JP; 168726/2005 2005.06.08 JP
- 主分类号: H01L31/08
- IPC分类号: H01L31/08 ; H01L31/0232 ; H01L31/18 ; H01L27/146 ; H01L21/822
摘要:
本发明的目的是提供一种实现大幅度改善灵敏度的小型固体摄像器件,其具有:半导体衬底(11),形成有多个光电变换部(17);遮光膜(19),位于光电变换部(17)上方,具有对应每个光电变换部(17)设置的多个开口部(20),形成在半导体衬底(11)上;以及高折射率层(125),形成在开口部(20)内;开口部(20)的开口宽度比射入光电变换部(17)的光的换算成真空中波长的最大波长小,高折射率层(125)由高折射率材料构成,该高折射率材料具有通过开口部(20)使最大波长的光透过的折射率。
公开/授权文献
- CN1877867B9 固体摄像器件及摄像机 公开/授权日:2011-01-26
IPC分类: