具有非对称传输栅沟道掺杂的像素
摘要:
一种像素,包括第一导电类型的衬底、具有与第一导电类型相反的第二导电类型并且被配置来将入射光转换成电荷的光电探测器、第二导电类型的浮动扩散以及在光电探测器与浮动扩散之间的传输区域。在传输区域上形成栅,该栅与光电探测器部分重叠并且被配置成从光电探测器向浮动扩散传输电荷。第一导电类型的钉扎层从所述栅至少延伸跨越光电探测器。第一导电类型的沟道区域一般从该栅的中点至少延伸跨越光电探测器,该沟道区域是通过注入第一导电类型的掺杂剂而形成的,并且其浓度使得该传输区域的接近光电探测器的掺杂剂浓度高于接近浮动扩散的掺杂剂浓度。
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