发明授权
CN1921152B 光反射率受控的光电二极管元件及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光反射率受控的光电二极管元件及其制造方法
- 专利标题(英): Light reflectivity controlled photodiode cell, and method of manufacturing the same
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申请号: CN200610115991.3申请日: 2006-08-22
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公开(公告)号: CN1921152B公开(公告)日: 2010-12-15
- 发明人: D·罗森菲尔德 , M·维勒明
- 申请人: EM微电子-马林有限公司
- 申请人地址: 瑞士马林
- 专利权人: EM微电子-马林有限公司
- 当前专利权人: EM微电子-马林有限公司
- 当前专利权人地址: 瑞士马林
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 杨晓光; 李峥
- 优先权: 05107734.5 2005.08.23 EP
- 主分类号: H01L31/102
- IPC分类号: H01L31/102 ; H01L31/0216 ; H01L31/0232 ; H01L31/18
摘要:
一种光电二极管元件(1),包括:至少一个光敏区域(3),制作在硅半导体衬底(2)中,用于接收光,具体地说相干光;以及钝化层和介电层(4)。所述钝化层由制作在所述光敏区域上的至少一个氧化硅第一层(5)和氮化物第二层(6)构成。制作的所述氮化物第二层具有在确定余量内的厚度,以便与所述第一层的厚度无关地位于具有最恒定的可能光反射率的范围内。为了获得由所述光电二极管元件感应的光的反射率百分比平均值,可以在与所述光敏区域的接收表面的一半对应的所述介电层(4)的一部分上或所述第一层(5)上进行蚀刻(7)。
公开/授权文献
- CN1921152A 光反射率受控的光电二极管元件及其制造方法 公开/授权日:2007-02-28