发明公开
- 专利标题： 沉积有机层的装置和控制该装置的加热单元的方法
- 专利标题（英）： Apparatus for depositing an organic layer and method for controlling a heating unit thereof
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申请号： CN200610112373.3申请日： 2006-08-31
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公开(公告)号： CN1924082A公开(公告)日： 2007-03-07
- 发明人: 郑珉在 , 金度根 , 郑锡宪
- 申请人： 三星SDI株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星SDI株式会社
- 当前专利权人： 三星移动显示器株式会社,申请人
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 周艳玲; 王琦
- 优先权： 10－2005－0080997 2005.08.31 KR
- 主分类号： C23C14/26
- IPC分类号： C23C14/26 ; C23C14/54
摘要：
本发明提供一种用于沉积有机层的装置和一种用于控制该装置的加热单元的方法。该装置包括设置于沉积室内、用于容纳蒸发材料的坩埚。该装置还包括加热单元，其具有用于加热该坩埚的第一和第二热源。壳体隔绝从加热单元发出的热量，外壁固定该坩埚。喷嘴喷射从该坩埚蒸发的材料。第一和第二热源分别置于该坩埚的第一侧和第二侧，并且被独立地控制，以使为稳定沉积速率所需的时间最少。
IPC分类:
