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发明授权
CN1926055B 使用驻极体的基于MEMS的致动器装置 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 使用驻极体的基于MEMS的致动器装置
  • 专利标题（英）： MEMS-based actuator devices using electrets
  • 申请号： CN200580006571.5
    申请日： 2005-02-10
  • 公开(公告)号： CN1926055B
    公开(公告)日： 2011-02-23
  • 发明人: 查尔斯·R·威尔考克斯
  • 申请人： 罗斯蒙德公司
  • 申请人地址： 美国明尼苏达州
  • 专利权人： 罗斯蒙德公司
  • 当前专利权人： 罗斯蒙德公司
  • 当前专利权人地址： 美国明尼苏达州
  • 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
  • 代理商 宋合成
  • 优先权： 10/792,982 2004.03.04 US
  • 国际申请： PCT/US2005/004027 2005.02.10
  • 国际公布： WO2005/092781 EN 2005.10.06
  • 进入国家日期： 2006-08-31
  • 主分类号： B81B3/00
  • IPC分类号： B81B3/00 ;  G02B6/26
使用驻极体的基于MEMS的致动器装置
摘要：
本发明公开了一种基于MEMS的致动器装置。驻极体用于多种基于MEMS的致动器装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)中。驻极体能够很长时间地储存电荷，电荷泄漏可以忽略。因此，当驻极体被装入需要致动的MEMS装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)时，所述装置可以很长时间地被初始偏压到任何所需的致动状态，且没有使用外偏压电压。这样的基于MEMS的致动器装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)可以包括具有至少一个第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)和至少一个第二部件(102，502，1010b)的基于MEMS的致动器。所述第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)和第二部件(102，502，1010b)设有浮动电极和第二电极。第一浮动电极(106，402，506，622，916a，1004，1104，1204)上的电荷被选择以便将第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)定位在距第二部件(102，502，1010b)所需的分开位置处。所述装置可以被用于对准光学部件或改变电气元件的电学特性。
摘要（英）：

Electrets are used in a variety of MEMS-based actuator devices (100, 200, 600, 700, 800, 1000, 1100, 1200). The electret is able to store electrical charge for a long time with negligible charge leakage. Therefore, when an electret is incorporated into a MEMS device (100, 200, 600, 700, 800, 1000, 1100, 1200) that requires actuation, the device can be initially biased to any desired actuation state for a long period of time without the use of external bias voltages. Such a MEMS-based device (100, 200, 600, 700, 800, 1000, 1100, 1200) may include a MEMS-based actuator having at least a first deflectable member (108, 512, 1006, 1106, 1202, 1302) and at least a second member (102, 502, 1010b). The first deflectable member (108, 512, 1006, 1106, 1202, 1302) and the second member (102, 502, 1010b) are provided with a floating electrode and a second electrode. A charge on the first floating electrode (106, 402, 506, 622, 916a, 1004, 1104, 1204) is selected so as to position the first deflectable member (108, 512, 1006, 1106, 1202, 1302) at a desired separation distance from the second member (102, 502, 1010b). The device may be used to align an optical component or to change the electrical characteristics of an electrical element.

公开/授权文献
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