发明授权
CN1930081B 碳酰氟的制备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 碳酰氟的制备
-
申请号： CN200580007413.1申请日： 2005-02-09
-
公开(公告)号： CN1930081B公开(公告)日： 2011-12-07
- 发明人: 马克斯·布劳恩 , 约翰内斯·艾歇尔
- 申请人： 苏威氟有限公司
- 申请人地址： 德国汉诺威
- 专利权人： 苏威氟有限公司
- 当前专利权人： 苏威氟有限公司
- 当前专利权人地址： 德国汉诺威
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 顾晋伟; 刘继富
- 优先权： 04005421.5 2004.03.08 EP
- 国际申请： PCT/EP2005/001281 2005.02.09
- 国际公布： WO2005/085129 DE 2005.09.15
- 进入国家日期： 2006-09-07
- 主分类号： C01B31/28
- IPC分类号： C01B31/28
摘要：
碳酰氟，其可以用作蚀刻气体，通过在氯的存在下利用光、优选波长≥280nm的光进行氯二氟甲烷或三氟甲烷的光化学氧化来制备。
公开/授权文献
- CN1930081A 碳酰氟的制备 公开/授权日：2007-03-14
