激光加工方法以及激光加工装置
摘要:
本发明提供一种不会降低加工效率、且具有良好的加工精度和加工质量的激光加工方法和激光加工装置,利用作为脉冲状的第1激光束的分束光束(5)、和作为脉冲状的第2激光束的分束光束(6)来加工1个孔,该第2激光束的照射位置是以第1激光束(5)的照射位置为基准而定位的。此时,如果使分束光束(5)和分束光束(6)的旋转方向和角速度相同地加工圆形孔,则能够提高加工质量。分束光束(5)和分束光束(6)可以是用光束分束器(4)对从1个激光振荡器射出的激光束进行分束、并利用AOM(7A、7B)进行分时分束而形成的光束。
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