发明授权
CN1946869B 安装电源装置的真空器件和电源方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 安装电源装置的真空器件和电源方法
- 专利标题(英): Vacuum device where power supply mechanism is mounted and power supply method
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申请号: CN200580012669.1申请日: 2005-01-24
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公开(公告)号: CN1946869B公开(公告)日: 2011-09-14
- 发明人: 泷本昌行 , 小室弘之 , 布施丰 , 阿部辰弥 , 青名端一仁
- 申请人: 株式会社昭和真空
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 株式会社昭和真空
- 当前专利权人: 株式会社昭和真空
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 李涛; 钟强
- 优先权: 204457/2004 2004.07.12 JP
- 国际申请: PCT/JP2005/000852 2005.01.24
- 国际公布: WO2006/006263 JA 2006.01.19
- 进入国家日期: 2006-10-23
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; H01R39/00
摘要:
改进排列在真空室内的旋转电极和接触该旋转电极以便向其提供电功率的电源装置间的接触状态。真空设备具有真空室、排列在真空室内并与真空室电绝缘的旋转电极,以及接触旋转电极以便向其提供电功率的电源装置,其中,旋转电极具有环形形状以及相对于环形形状的中心轴水平旋转,以及电源装置由电极构件组成,以及电极构件和旋转电极在至少一个接触面彼此接触。
公开/授权文献
- CN1946869A 安装电源装置的真空器件和电源方法 公开/授权日:2007-04-11
IPC分类: