探针观察装置、表面特性测定装置
Abstract:
本发明涉及探针观察装置、表面特性测定装置。该探针观察装置和表面特性测定装置包括:对探针(210)进行拍摄的摄像机(230)、将由摄像机(230)取得的图像数据进行图像处理的图像处理部(330)、将由图像处理部(330)进行了图像处理的图像数据进行显示的监视器(400)、以及用手动操作将图像处理内容进行指令输入的鼠标(500)。图像处理部(330)具备根据鼠标输入的指令而将图像数据加工处理的图像数据加工处理部(350)。摄像机(230)具有低倍率的透镜系统,其在使探针(210)进入到视野内的状态下被设置成对于探针(210)的相对位置固定的状态。
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