Invention Grant
- Patent Title: 探针观察装置、表面特性测定装置
- Patent Title (English): Probe observing device, surface property detector
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Application No.: CN200610136261.1Application Date: 2006-10-19
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Publication No.: CN1952596BPublication Date: 2010-07-21
- Inventor: 新井雅典
- Applicant: 三丰株式会社
- Applicant Address: 日本神奈川县
- Assignee: 三丰株式会社
- Current Assignee: 三丰株式会社
- Current Assignee Address: 日本神奈川县
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 陶凤波
- Priority: 304338/05 2005.10.19 JP
- Main IPC: G01B21/00
- IPC: G01B21/00 ; G01B21/30 ; G01B21/20 ; G01B11/00 ; G01B11/30 ; G01B11/24
Abstract:
本发明涉及探针观察装置、表面特性测定装置。该探针观察装置和表面特性测定装置包括:对探针(210)进行拍摄的摄像机(230)、将由摄像机(230)取得的图像数据进行图像处理的图像处理部(330)、将由图像处理部(330)进行了图像处理的图像数据进行显示的监视器(400)、以及用手动操作将图像处理内容进行指令输入的鼠标(500)。图像处理部(330)具备根据鼠标输入的指令而将图像数据加工处理的图像数据加工处理部(350)。摄像机(230)具有低倍率的透镜系统,其在使探针(210)进入到视野内的状态下被设置成对于探针(210)的相对位置固定的状态。
Public/Granted literature
- CN1952596A 探针观察装置、表面特性测定装置 Public/Granted day:2007-04-25
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