发明授权
- 专利标题: 用于表面分析的光谱仪及表面分析方法
- 专利标题(英): Spectrometer for surface analysis and method therefor
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申请号: CN200610142720.7申请日: 2006-10-30
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公开(公告)号: CN1967224B公开(公告)日: 2011-02-23
- 发明人: 布赖恩·罗伯特·巴纳德
- 申请人: 萨默费舍科学股份有限公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 萨默费舍科学股份有限公司
- 当前专利权人: 萨默费舍科学股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 党晓林; 徐敏刚
- 优先权: 0522060.3 2005.10.28 GB
- 主分类号: G01N23/227
- IPC分类号: G01N23/227 ; G01N23/22
摘要:
本发明提供了一种用于表面分析的光谱仪(10)及表面分析方法。光谱仪(10)提供试样观察和与试样表面大体正交的二次带电粒子收集。收集腔室(22)包括:二次带电粒子透镜装置(20),其用于使发出的粒子在下游方向上沿第一正交轴线(24)聚焦,由此限定带电粒子光学交叉位置(25);光反射光学元件(50),其位于所述透镜装置下游,并被设置成接收图像光(41)并使该光反射远离第二正交轴线(42)以提供所述表面的可观察图像。该光学元件(50)定位在交叉位置(25)处或附近,并包括贯穿其的开口(52),从而使聚焦的粒子穿过该开口以进行下游光谱分析,且大体不会受到该光学元件的阻碍。
公开/授权文献
- CN1967224A 用于表面分析的光谱仪及表面分析方法 公开/授权日:2007-05-23