发明授权
- 专利标题: 离子平衡调整方法以及使用它的工件的除电方法
- 专利标题(英): Ion balance adjusting method and method of removing charges from workpiece by using the same
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申请号: CN200610162843.7申请日: 2006-11-24
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公开(公告)号: CN1972551B公开(公告)日: 2011-05-04
- 发明人: 佐藤俊夫 , 铃木智
- 申请人: SMC株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: SMC株式会社
- 当前专利权人: SMC株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 曲瑞
- 优先权: 2005-340027 2005.11.25 JP
- 主分类号: H05F3/06
- IPC分类号: H05F3/06 ; H01T19/00 ; H01T23/00
摘要:
当通过在正负电极针上施加正负脉冲状高电压而在除电区域内使正负离子发生,并将带电工件搬进此除电区域内进行除电之际,在工件被搬进上述除电区域内以前,利用表面电位传感器来测定该除电区域内的离子平衡,并依照其测定结果使上述电极针上所施加的脉冲状高电压的脉冲宽度和/或电压值变化,由此对来自该电极针的离子的发生量进行调整以使正负离子平衡。
公开/授权文献
- CN1972551A 离子平衡调整方法以及使用它的工件的除电方法 公开/授权日:2007-05-30