Invention Publication
- Patent Title: 内酯化合物、含内酯的单体、它们的聚合物、使用该聚合物的抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的图形形成方法
- Patent Title (English): Lactone compounds, lactone-containing monomers, their polymers, resist compositions using same, and processes for forming patterns using same
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Application No.: CN200580021369.XApplication Date: 2005-08-24
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Publication No.: CN1976913APublication Date: 2007-06-06
- Inventor: 角田真一 , 小森谷治彦 , 铃木克俊 , 前田一彦
- Applicant: 中央硝子株式会社
- Applicant Address: 日本山口县
- Assignee: 中央硝子株式会社
- Current Assignee: 中央硝子株式会社
- Current Assignee Address: 日本山口县
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 王健
- Priority: 266071/2004 2004.09.13 JP
- International Application: PCT/JP2005/015355 2005.08.24
- International Announcement: WO2006/030609 JA 2006.03.23
- Date entered country: 2006-12-26
- Main IPC: C07D311/94
- IPC: C07D311/94 ; C08F20/28 ; G03F7/039 ; H01L21/027

Abstract:
本发明涉及新的第1-第4内酯化合物。第1内酯化合物用式(1)表示,[化18]式中,X表示CH2、CH2CH2、O、S或NR1,R1表示氢原子,碳数1-10的直链状,分枝状或环状烷基,该烷基的氢的一部分或全部可以用氟原子取代,此外,烷基的一部分也可以含有具有氧原子、硫原子、氮原子、碳-碳双键、羰基、羟基或羧基的原子团。
Public/Granted literature
- CN1976913B 内酯化合物、含内酯的单体、它们的聚合物、使用该聚合物的抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的图形形成方法 Public/Granted day:2010-10-06
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