内酯化合物、含内酯的单体、它们的聚合物、使用该聚合物的抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的图形形成方法
Abstract:
本发明涉及新的第1-第4内酯化合物。第1内酯化合物用式(1)表示,[化18]式中,X表示CH2、CH2CH2、O、S或NR1,R1表示氢原子,碳数1-10的直链状,分枝状或环状烷基,该烷基的氢的一部分或全部可以用氟原子取代,此外,烷基的一部分也可以含有具有氧原子、硫原子、氮原子、碳-碳双键、羰基、羟基或羧基的原子团。
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