Invention Grant
CN1979182B 双对数放大器相位-幅度探测器
失效 - 权利终止
- Patent Title: 双对数放大器相位-幅度探测器
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Application No.: CN200610128745.1Application Date: 2006-09-04
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Publication No.: CN1979182BPublication Date: 2012-02-08
- Inventor: 小理查德·E·丘奇
- Applicant: MKS仪器有限公司
- Applicant Address: 美国马萨诸塞州
- Assignee: MKS仪器有限公司
- Current Assignee: MKS仪器有限公司
- Current Assignee Address: 美国马萨诸塞州
- Agency: 北京德琦知识产权代理有限公司
- Agent 周艳玲; 王琦
- Priority: 60/713,656 2005.09.02 US; 11/468,119 2006.08.29 US
- Main IPC: G01R25/00
- IPC: G01R25/00 ; G01R19/00
Abstract:
本发明提供一种包括提供RF输出功率的RF功率发生器的功率发生系统。该功率发生系统包括具有双对数放大器相位-幅度探测器的相位-幅度探测器模块。该双对数放大器相位-幅度探测器接收电流信号和电压信号。该双对数放大器相位-幅度探测器产生根据该电压信号和该电流信号之间的相位而变化的相位信号，以及根据该电压信号和该电流信号之间的幅度而变化的幅度信号。控制器接收该相位信号和幅度信号，并把控制信号传送给匹配网络。
Public/Granted literature
- CN1979182A 双对数放大器相位－幅度探测器 Public/Granted day:2007-06-13
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