发明授权
CN1995973B 基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法及其传感器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法及其传感器
- 专利标题(英): Gas measuring method based on semiconductor laser moding characteristics and sensor therefor
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申请号: CN200610117007.7申请日: 2006-10-11
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公开(公告)号: CN1995973B公开(公告)日: 2010-04-07
- 发明人: 张永刚 , 李爱珍 , 齐鸣 , 封松林
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 潘振甦
- 主分类号: G01N21/25
- IPC分类号: G01N21/25 ; G01N21/49
摘要:
本发明涉及一种基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法和使用的传感器,其特征在于利用目标气体对激光器产生的特定波长激光的吸收特性进行气体浓度测量,也利用目标气体对同一激光器产生的相近特定波长激光的透过特性作为参比信号以抵消其他损耗和波动的影响。所使用的气体传感器的核心是一只具有稳定单模输出和跳模特性半导体激光器和一只光电探测器,适合于不同的气体光路,电路部分构成较简单,易于一体化、小型化和集成化。本发明所述的测量方法及使用的传感器是一种普适的采用半导体激光的气体传感器,具有很好的通用性。
公开/授权文献
- CN1995973A 基于半导体激光器跳模特性的气体测量方法及其传感器 公开/授权日:2007-07-11