用于调节老化期间的温度的系统和方法
Abstract:
描述了用于减少老化测试期间的温度耗散的系统和方法。待测试器件每个都经受一个体偏置电压。体偏置电压可用于控制结温(例如,在待测试器件处测量的温度)。可以逐器件地调整施加到每个待测试器件的体偏置电压,以便在每个器件处获得基本相同的结温。
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