实用新型
CN202662584U 一种同时吸取双片的真空吸笔
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种同时吸取双片的真空吸笔
- 专利标题(英): Vacuum sucking pen capable of sucking two wafers simultaneously
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申请号: CN201220314652.9申请日: 2012-06-28
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公开(公告)号: CN202662584U公开(公告)日: 2013-01-09
- 发明人: 金重玄 , 戴明 , 吴洪联 , 夏高生
- 申请人: 杭州大和热磁电子有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市滨江区滨康路777号
- 专利权人: 杭州大和热磁电子有限公司
- 当前专利权人: 杭州大和热磁电子有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市滨江区滨康路777号
- 代理机构: 杭州杭诚专利事务所有限公司
- 代理商 尉伟敏
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683
摘要:
本实用新型公开了一种同时吸取双片的真空吸笔,包括吸笔头、吸管和手柄,吸管与手柄一体结构,吸笔头呈块状结构,吸笔头的中心设有与吸管相吻合的吸管孔,吸笔头的厚度与存放硅片的石英舟内部间隙相同,在吸笔头的两侧面上分别对称设有结构相同的左吸盘腔和右吸盘腔,吸管孔的底部设有与吸管孔相互连通的左气道和右气道,左气道与左吸盘腔连通,右气道与右吸盘腔连通,本实用新型在不改变原真空吸笔的本体结构,只需更换吸笔头就可以实现双片取片,改装费用较低,取片效率提升一倍,而且吸笔头的端部增加了较长的楔形导向部,在快速作业时可以防止因真空吸笔插偏导致碰碎硅片的情况发生,安全系数较高。
IPC分类: