应用MQW生长的绿光GaN基LED外延结构
摘要:
应用MQW生长的绿光GaN基LED外延结构,涉及LED外延生产技术领域,特别是GaN基绿光LED的生长技术,包括依次生长在衬底上的GaN成核层、非掺杂GaN层、n型GaN层、InGaN/GaN多量子阱有源层和p型GaN层,InGaN/GaN多量子阱有源层包括GaN垒层、InGaN量子阱层和变温GaN过渡层,在InGaN/GaN多量子阱有源层的GaN垒层和InGaN量子阱层之间生长低In组分的缓冲层shallowwell。本实用新型大大降低了与垒之间的应力,能够缓解量子阱、垒之间的应力差,因此量子阱中的极化电场也大大降低,在垒与量子阱之间缓冲层shallowwell使得极化电场得到降低,使得电子与空穴的波函数在空间上的分离现象得到缓解,使得有效辐射复合得到提升。
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