一种检测平面缺陷的装置
摘要:
本实用新型提供了一种检测平面缺陷的装置,其特征在于,所述的装置包括暗室(1)、照相机(2)、第一点光源(3)、第二点光源(4)、第三点光源(5)和待测平面台架(6),并且照相机(2)安装在暗室的第一侧面上,第一点光源(3)、第二点光源(4)和第三点光源(5)分别安装以使得其所在平面和第一侧面平行,并且位于照相机(2)的镜头视界之外。在该方法和系统中,通过在三种点光源条件下拍照,并对数据进行处理,实现了平面表面缺陷的高精度测量。
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