一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本平台的优点是：运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置，减小导轨负载，增大平台的承载能力；同时加入摩擦轮驱动机构，提高驱动平稳性。