实用新型
- 专利标题: 支撑针调整装置
- 专利标题(英): Support needle adjusting device
-
申请号: CN201620221954.X申请日: 2016-03-22
-
公开(公告)号: CN205529022U公开(公告)日: 2016-08-31
- 发明人: 康英男 , 周立刚 , 赵东升 , 慕国鹏 , 张毅
- 申请人: 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 内蒙古自治区鄂尔多斯市东胜区装备制造基地
- 专利权人: 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 内蒙古自治区鄂尔多斯市东胜区装备制造基地
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50
摘要:
本实用新型公开一种支撑针调整装置,涉及真空蒸镀技术领域,以精确地调整支撑针的高度,降低玻璃基板在镀膜过程中发生偏移甚至破碎的可能性。所述底座,其一侧设有缺口部,所述缺口部用于在对支撑针进行调整时容纳支撑针;两个高度测量柱,其分别竖直设置于所述缺口部两侧;以及信号发射器和信号接收器,所述信号发射器设置在两个所述高度测量柱中的一个高度测量柱上,所述信号接收器设置于另一高度测量柱上,所述信号发射器和所述信号接收器各自距所述底座上表面的距离相等,且二者正对设置。本实用新型提供的支撑针调整装置用于真空蒸镀设备中的支撑针的调整。
IPC分类: