实用新型
- 专利标题: 一种气流检测装置
- 专利标题(英): Air current detection device
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申请号: CN201621336184.X申请日: 2016-12-07
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公开(公告)号: CN206208918U公开(公告)日: 2017-05-31
- 发明人: 严拯 , 方明海 , 廖璞 , 魏敏 , 张婷
- 申请人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 专利权人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 当前专利权人: 武汉新芯集成电路股份有限公司
- 当前专利权人地址: 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 代理机构: 上海申新律师事务所
- 代理商 俞涤炯
- 主分类号: G01P5/00
- IPC分类号: G01P5/00
摘要:
本实用新型公开了一种气流检测装置,应用于无尘室的气流检测,其特征在于,包括:可移动的呈矩形状的本体;高度可调节的升降机构,设置于所述本体上;风速探测头,设置于所述升降机构的顶部;推动单元,与所述升降机构连接,用以控制所述升降机构上升或者下降,使所述风速探测头达到预设高度对所述无尘室进行气流检测。其技术方案的有益效果在于,通过升降机构可代替人工手持风速测量仪进行风速测量,使检测操作更加的安全,同时提高了检测操作的效率,提高了测试精度。