一种掩膜板
摘要:
本实用新型提供一种掩膜板,包括阻挡部和多个拼接设置的子掩膜板,阻挡部在子掩膜板所在平面的正投影覆盖相邻子掩膜板之间的间隙,且阻挡部的材料为非磁性材料。在蒸镀过程中,磁力组件所产生磁力不会对阻挡部产生吸力,相应阻挡部不会对子掩膜板施加作用力,因此,可以减小子掩膜板的边缘的变形量,避免子掩膜板发生变形或褶皱,从而避免背板产生混色不良,进而提高蒸镀工艺的良率。
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