实用新型
CN206876728U 用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置
- 专利标题(英): A making devices that is used for micro - measuring device's of needle point type scanning special probe
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申请号: CN201720540407.2申请日: 2017-05-16
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公开(公告)号: CN206876728U公开(公告)日: 2018-01-12
- 发明人: 高思田 , 徐靖涛 , 黄鹭 , 施玉书 , 李琪
- 申请人: 中国计量科学研究院
- 申请人地址: 北京市朝阳区北三环东路18号
- 专利权人: 中国计量科学研究院
- 当前专利权人: 中国计量科学研究院
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北三环东路18号
- 代理机构: 北京一格知识产权代理事务所
- 代理商 滑春生; 赵永伟
- 主分类号: G01Q70/16
- IPC分类号: G01Q70/16
摘要:
一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置,包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置,在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置,两个支撑立柱的上部固定有安装基板,在安装基板上装有金属丝定位装置;还配备有电解电源和控制装置。本实用新型实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移;对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利