Utility Model
- Patent Title: 一种腐蚀机自旋转夹盘装置
- Patent Title (English): Etching machine autogyration (holding) chuck device
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Application No.: CN201720978596.1Application Date: 2017-08-07
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Publication No.: CN207391553UPublication Date: 2018-05-22
- Inventor: 秦川穹 , 李云良 , 杨定宇
- Applicant: 上海利正卫星应用技术有限公司
- Applicant Address: 上海市闵行区春光路99弄18号28幢1-2层
- Assignee: 上海利正卫星应用技术有限公司
- Current Assignee: 上海利正卫星应用技术有限公司
- Current Assignee Address: 上海市闵行区春光路99弄18号28幢1-2层
- Agency: 上海汉声知识产权代理有限公司
- Agent 郭国中
- Main IPC: C23F1/08
- IPC: C23F1/08

Abstract:
本实用新型公开了一种腐蚀机自旋转夹盘装置,该夹盘装置用来安装蚀刻板的一面的边缘安装有若干帆状结构,用以接收蚀刻液的冲击力,带动夹盘旋转;所述帆状结构为中空结构,由左边的1/4球状外壳和右边的弧形部一体成型而成,所述弧形部由1/2圆管状外壳沿着对径向呈一定角度的方向切开所得。本实用新型在夹盘装置的边缘安装若干类似于船帆的帆状结构,利用蚀刻液对于帆状结构的定向冲击带动夹盘的旋转。由于帆状结构沿着夹盘的边缘呈周期性排布,所以夹盘在旋转的过程中能够保持均匀。
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IPC分类: