实用新型
- 专利标题: 一种高效有机蒸发坩埚清洗系统
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申请号: CN201721495352.4申请日: 2017-11-10
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公开(公告)号: CN207463761U公开(公告)日: 2018-06-08
- 发明人: 李轶文 , 刘嵩 , 张伟
- 申请人: 固安鼎材科技有限公司
- 申请人地址: 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
- 专利权人: 固安鼎材科技有限公司
- 当前专利权人: 固安鼎材科技有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
- 代理机构: 北京东方芊悦知识产权代理事务所
- 代理商 彭秀丽
- 主分类号: B08B9/087
- IPC分类号: B08B9/087 ; B08B9/08 ; B08B3/14
摘要:
本实用新型公开了一种高效有机蒸发坩埚清洗系统,包括清洗机架和设置在清洗机架上的清洗装置和控制装置,系统中还设有与清洗机架连接的清洗液槽和清洗仓,清洗仓的上端设有与其内腔相连通的进液管、出液管和旋转轴孔,其下端开口;清洗装置包括旋转机构和刷头,旋转机构贯穿所述旋转轴孔,且与位于清洗仓内的所述刷头可拆卸连接;所述清洗液槽中设有进液腔和出液腔,进液管和出液管分别通过一输送泵与出液腔和进液腔对应连通,控制装置分别与输送泵和旋转机构电性连接;需清洗的坩埚一端由清洗仓的开口推入清洗仓中,进液管和刷头伸入坩埚中执行旋转刷洗。本实用新型的清洗装置中的刷头与旋转机构可拆卸连接,可根据坩埚的形状更换对应的刷头形状,实现不同种类坩埚的独立、可控的定制化清洗。
IPC分类: