一种激光陀螺腔体清洗装置
Abstract:
本实用新型公开了一种激光陀螺腔体清洗装置,包括用于承载激光陀螺腔体的腔体固定工装、用于使腔体内的氦氖气体放电的直流电源以及用于腔体内气体置换的真空台,还包括分别位于腔体两侧端面上用于给腔体加载射频能量的第一外置电极板和第二外置电极板,真空台与腔体气密连接,第一外置电极板和第二外置电极板通过同轴线缆依次连接有射频匹配器和射频电源;本实用新型使得腔体每条毛细孔均得到辉光放电清洗,射频辉光放电清洗的过程不受激光陀螺自身的放电系统的限制,且射频等离子体的能量高、功率强度调节方便,工艺时间短,有效的延长了激光陀螺的使用寿命。
Patent Agency Ranking
0/0