实用新型
CN209020363U 一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置
- 专利标题(英): Film forming device capable of externally adjusting pH value of liquid drops
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申请号: CN201821693412.8申请日: 2018-10-18
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公开(公告)号: CN209020363U公开(公告)日: 2019-06-25
- 发明人: 李波 , 谢丹 , 舒霞云 , 吴常健 , 许克宇 , 陈文奂 , 魏智滨 , 张墙 , 肖航
- 申请人: 厦门理工学院
- 申请人地址: 福建省厦门市集美区理工路600号
- 专利权人: 厦门理工学院
- 当前专利权人: 厦门理工学院
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市集美区理工路600号
- 代理机构: 泉州市潭思专利代理事务所
- 代理商 麻艳
- 主分类号: B01J19/00
- IPC分类号: B01J19/00
摘要:
本实用新型公开了一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置,该成膜装置包括液滴喷头、运动机构及固定在运动机构的运动台上的基板;所述运动台的上方设有工作腔;所述成膜装置还设有pH调节装置,该pH调节装置包括酸碱液供应装置及雾化装置,该酸碱液供应装置及雾化装置之间设有连接二者的管道,该雾化装置的雾化喷口位于该工作腔内。本实用新型可实现在外部对喷射出的微滴进行pH调节,从而在成膜过程中对pH值的控制,进而完成均匀沉积薄膜,图案成型的要求。