一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置
摘要:
本实用新型公开了一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置,该成膜装置包括液滴喷头、运动机构及固定在运动机构的运动台上的基板;所述运动台的上方设有工作腔;所述成膜装置还设有pH调节装置,该pH调节装置包括酸碱液供应装置及雾化装置,该酸碱液供应装置及雾化装置之间设有连接二者的管道,该雾化装置的雾化喷口位于该工作腔内。本实用新型可实现在外部对喷射出的微滴进行pH调节,从而在成膜过程中对pH值的控制,进而完成均匀沉积薄膜,图案成型的要求。
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