本实用新型公开了一种制程真空无尘室除尘系统，包括电动伸缩杆、固定锁、电机、真空泵和过滤芯，所述电动伸缩杆的下端连接有装置主体，且装置主体的前侧通过合页连接有活动门，所述装置主体的内部设置有过滤板，且过滤板的上侧连接有电动伸缩杆，所述装置主体的内部下侧安装有电机和真空泵，所述过滤板上设置有防护网，所述过滤板的外侧边缘固定有密封圈，所述活动门与装置主体的连接处设置有密封垫，所述过滤板的内部固定有过滤芯。该制程真空无尘室除尘系统，可以在装置进行制程真空过程中，通过过滤板对装置内部的空气进行过滤工作，进而保证了真空泵能够安全的进行工作，有效的避免了灰尘杂质等对真空泵的不良影响。