实用新型
- 专利标题: 一种电注入装置
- 专利标题(英): Electric injection device
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申请号: CN201922388901.3申请日: 2019-12-26
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公开(公告)号: CN210778646U公开(公告)日: 2020-06-16
- 发明人: 张达奇 , 吴坚 , 蒋方丹
- 申请人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 , 阿特斯阳光电力集团有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市高新区鹿山路199号;
- 专利权人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团有限公司
- 当前专利权人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市高新区鹿山路199号;
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 胡彬
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本实用新型属于太阳能电池生产技术领域,公开了一种电注入装置,该电注入装置包括壳体和电注入部,所述壳体内具有工艺腔,所述电注入部能向容置于所述工艺腔内的硅片通电,以对所述硅片进行电注入作业并使所述硅片升温,所述工艺腔内还设置有:辅助加热结构,所述辅助加热结构与备用电源电性连接,以在通电时加热所述硅片;以及测温组件,所述测温组件用于测量所述硅片的温度,并与所述备用电源电性连接。本实用新型提供的电注入装置能够通过测温组件测量硅片的异常温降,并通过由备用电源供电的辅助加热结构维持硅片的温度,以确保处于电注入作业中的硅片不因异常温降而影响电注入效果和产能,并避免硅片报废。