实用新型
- 专利标题： 基于石墨烯的集成化气敏传感单元
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申请号： CN201921417550.8申请日： 2019-08-28
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公开(公告)号： CN211453446U公开(公告)日： 2020-09-08
- 发明人: 王峥 , 吴超 , 庞振江 , 李良 , 王海宝 , 耿亮 , 杨文 , 奥琛
- 申请人： 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网信息通信产业集团有限公司 , 国家电网有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
- 专利权人： 北京智芯微电子科技有限公司,国网信息通信产业集团有限公司,国家电网有限公司
- 当前专利权人： 北京智芯微电子科技有限公司,国网信息通信产业集团有限公司,国家电网有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
- 代理机构： 北京中誉威圣知识产权代理有限公司
- 代理商 席勇; 王小蓓
- 主分类号： G01N27/12
- IPC分类号： G01N27/12
摘要：
本实用新型公开了一种基于石墨烯的集成化气敏传感单元，包括：Si+SiO2衬底、Ti/Pt电极、石墨烯、NH3敏感部、H2敏感部以及NO2敏感部。Ti/Pt电极溅射于Si+SiO2衬底上；石墨烯设置于Si+SiO2衬底上；NH3敏感部设置于石墨烯上；H2敏感部设置于石墨烯上；以及NO2敏感部设置于石墨烯上。借此，本实用新型的基于石墨烯的集成化气敏传感单元，集成了三种气敏传感单元，且成本低，工艺简单。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
