一种气体频率可调的气体劈裂装置
摘要:
本实用新型公开了一种气体频率可调的气体劈裂装置,涉及气体劈裂技术领域,解决了气体劈裂装置不能同时控制气体的气压与频率的问题,其技术要点是:包括柱塞泵,柱塞泵的出气口连接有连通阀,连通阀上设有第一气口、第二气口和第三气口,第一气口和第二气口之间设有隔离板,隔离板将第一气口和第二气口之间的通路隔断,且第一气口和第二气口在第四气口内均设有通气孔,第三气口密封,第三气口内设有阀芯,阀芯能够闭合第一气口和第二气口的通气孔,阀芯还连接有阀芯驱动单元;本实用新型通过曲柄滑块机构带动连通阀按照预设频率连通气路,从而使得气体劈裂装置频率可控,同时本实用新型结构简单,控制方便。
0/0